开放式无尘车间加微环境方式，工艺生产只要求微环境内有很严格的洁净度，而开放式无尘车间只需保证5-6级，这样严格要求的洁净度区域大大减少，保证洁净度所需的循环空气量也相应减少，能耗大大降低，通常情况下开放式无尘车间加微环境方式其维持洁净度所需的能耗大约仅为港湾式无尘车间的1/3[]。实际工程中微环境是由设备自带的和开放式无尘车间完全脱开，再加上开放式无尘车间本身结构简单，动力设备减少，这样无论从设计到建造都变得简单快捷，可以缩短建造时间。
采用开放式无尘车间加微环境方式，确保硅片加工过程所需的洁净度的关键区域是微环境，微环境通常
净化空调自控系统设计中应注意的问题
由于净化空调系统主要用于生产工艺，因此除了对温湿度有严格的工艺要求之外，环境空气净化工程，还要考虑到净化的要求，尤其是制药车间还必须符合GMP 规范的要求。与净化空调系统配套的先进的自动控制系统就成了必不可少的，而且为了更好地发挥控制系统的作用，临沂空气净化工程，保证企业的投资能取得至大的回报，专业承接空气净化工程，控制系统方案设计显得尤其重要。在实际运行过程中对于温湿度的控制比较容易实现，但是要注意工况的划分和转换，由于篇幅的限制，本文仅简单介绍了三个季节工况的控制过程，实际实现过程中还有许多编程方面的事项，本文就不一一赘述了。
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